行业新动向
2月5日，《日经新闻》报道，日本TOTO，全球排名第三的陶瓷卫浴产品制造商，利用其在陶瓷材料领域的专业技术，在半导体静电卡盘市场实现了初步进展。这一技术突破预示着传统陶瓷行业在半导体领域的探索迎来了新的路径。静电卡盘作为半导体产业的核心组件，TOTO的加入或许将对行业竞争态势带来显著变化。
业务溯源
自20世纪80年代，TOTO开始涉猎半导体相关行业。当时，公司便开始研发针对半导体的高性能精密陶瓷产品。其中，“静电卡盘”产品尤为引人注目。经过数十年的持续发展，以静电卡盘为核心的陶瓷业务，已成为TOTO“新领域”业务中，营收和利润的重要构成部分。这一转变充分展现了TOTO在半导体领域的长远规划和战略远见。
静电卡盘特性
静电卡盘是用于特定工况下承载超洁净晶圆的重要工具，它在半导体制造高端设备中扮演着核心角色。其表面材料主要包括氧化铝陶瓷和氮化铝陶瓷。氧化铝陶瓷因制作工艺简单，市场应用较为广泛；而氮化铝陶瓷则因其卓越的导热性能等特性，更适用于半导体工艺。推广氮化铝陶瓷有望提升半导体制造的整体水平。
市场价值占比
半导体制造设备领域，静电卡盘的使用比例较高。拓荆科技的招股说明书中显示，从2019年到2021年第一季度至第三季度，静电卡盘所属的机械零部件在核心原材料采购中占比超过25%。此外，该零部件连续多年位居采购清单的首位，反映出静电卡盘在半导体行业中的核心作用。
市场格局分布
QYResearch发布的数据揭示，2021年全球静电卡盘市场销售额前三甲企业分别是应用材料、泛林集团和Shinko，它们的市场份额分别为43.86%、31.42%和10.20%。日本及韩国企业通常独立销售静电卡盘，而美国企业则更倾向于将其与半导体设备一同销售。在这种市场环境下，TOTO取得了一定进展，然而也面临着诸多挑战。
TOTO的机遇与困境
TOTO采用了具有卓越耐等离子体特性的Al2O3材料来生产静电卡盘，这确保了产品的耐用性和减少背面颗粒污染。尽管如此，最初供应的结构性零部件销售情况并不理想。尽管随后在静电卡盘领域实现了成功，但受限于较低的良率和产能不足，难以满足市场需求。目前，TOTO正将注意力转向下游的3D堆叠技术，并应对新技术研发的挑战。我国江丰电子通过引入KSTE的技术实现了静电卡盘的大规模生产，与TOTO形成了竞争局面。
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